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型號：SK2-2-12QA

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小型開啟式管式爐在真空壓力下，加在電感線圈的射頻電場，使反應(yīng)室氣體發(fā)生輝光放電，在輝光發(fā)電區(qū)域產(chǎn)生大量的電子。這些電子在電場的作用下獲得充足的能量，其本身溫度很高，它與氣體分子相碰撞，使氣體分子活化。它們吸附在襯底上，并發(fā)生化學(xué)反應(yīng)生成介質(zhì)膜，副產(chǎn)物從襯底上解吸，隨主氣流由真空泵抽走，稱為等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉(PECVD)。

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1400℃雙溫區(qū)精密真空管式爐采用智能化程序溫控系統(tǒng)，可控硅控制，以優(yōu)質(zhì)硅碳棒為加熱元件，采用智能化控溫系統(tǒng)，可控硅控制，控溫精度高；內(nèi)置兩個(gè)溫區(qū)，可營造不同的溫度梯度。

型號：SK2-2-14QA

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1400℃三溫區(qū)管式爐采用智能化程序溫控系統(tǒng)，可控硅控制，控溫精度高；高真空級法蘭密封，以優(yōu)質(zhì)硅碳棒為加熱元件，采用智能化控溫系統(tǒng)，可控硅控制，控溫精度高

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CVD管式爐 高溫電爐集真空管式爐，多通道氣路系統(tǒng)和真空系統(tǒng)組成，性能可靠。控制電路選用模糊PID程控技術(shù)，具有控溫精度高，溫沖幅度小，性能可靠，簡單易操作等特點(diǎn)。

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1200℃小型真空管式爐-管式高溫爐采用智能化程序控溫系統(tǒng)，可控硅控制，控溫精度高；雙層殼體結(jié)構(gòu)，設(shè)計(jì)合理，外形美觀，結(jié)構(gòu)緊湊；雙層爐殼間配有風(fēng)冷系統(tǒng)，有效保證外殼表面溫度。用于在真空或是氣氛保護(hù)環(huán)境下的材料燒結(jié)試驗(yàn)。

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高溫管式電阻爐主要用于陶瓷、冶金、電子、玻璃、化工、機(jī)械、耐火材料、特種材料、建材、高校、科研院所、工礦企業(yè)做粉末焙燒、陶瓷燒結(jié)、高溫實(shí)驗(yàn)、材料處理、質(zhì)高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD實(shí)驗(yàn)、真空退火等。